擴散泵是獲得高真空的主要工具之一。它們操作簡單，沒有運動部件，相對便宜，維護很少且容易。
一、擴散泵清洗及清洗安全
1清洗擴散泵需要使用丙酮和乙醇，這兩者都均有毒且易爆。開始清洗之前，請注意下列信息:
1.1在加熱、噴灑或暴露于高溫儀器時，這些溶劑變得易燃易爆，會導致嚴重的傷害或死亡。
1.2在加熱或噴灑時，丙酮或乙醇還會變得比空氣重4到5倍，會向下流動進入油罐、凹處和較低的區域而排擠掉空氣，因此可能造成維修人員窒息死亡。丙酮、 乙醇和其他溶劑是刺激劑、麻醉劑、抑制劑，并具有致癌性。 吸入和攝入這些溶劑會對人體產生嚴重的影響。 皮膚長期或持續接觸將導致其通過皮膚吸收 并產生一定的毒性。
二、由于泵油逐漸變質，可能需要對泵進行徹底清洗。因此有必要從系統中取下泵。
要清洗已安裝的泵,請遵循泵的關機程序：
1.拆下所有水冷管線并切斷泵加熱器的初級電路電源 2.放出所有泵油。 3.擰下泵入口和前級管道連接螺栓并從系統中取下泵。 4.卸下水冷帽（如果適用）。 5.按照具體型號泵操作手冊中所述的方法卸下噴嘴組件。 6.使用丙酮仔細清洗泵體內部，并用異丙醇沖洗。然后用干凈、干燥、無油壓縮空氣將泵吹干。 7.使用丙酮仔細清洗噴嘴組件。用異丙醇擦拭所有表面，并用干凈、干燥、無油壓縮空氣將其吹干。 8.重新將噴嘴和水冷帽裝到泵體上。確保噴嘴與前級系統準確對齊（如果適用）。 9.檢查 O 型圈的情況。替換有任何老化或壓縮跡象的 O 型圈。 10.將泵接入系統。
警告：切勿在靠近高溫源的地方使用。用風機對工作區域進行通風，并在通風良好的大房間內使用擴散泵。必要時還可以使用獨立的呼吸器。
始終確保清洗操作在通風良好的大房間內進行。請戴上護目鏡、手套和防護服。
油擴散泵故障處理
(1)擴散泵工作過程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱后必須保證泵工作液已完全冷卻后方可關閉冷卻水。
(2)泵停止工作時，泵內應保持真空狀態，以免泵油劣化。
(3)被抽氣體應是干燥、無腐蝕、無灰塵的氣體。
(4)泵如暫時不用，保管期間應保持真空狀態，以免泵油污染和各零件腐蝕。并將冷卻水套內的剩水吹凈。保存場地的室溫應在10C ~ 40C之間。
(5)泵在正常運行時如突然出現性能變壞，應先檢查加熱器是否正常。
(6)泵在長期工作后，性能會逐漸變壞，應定期檢修。
a.泵油是否減少或氧化，按相應要求加油或更換處理。
b.零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用絲綢蘸乙醚或丙酮進行擦洗， 并置于80C ~ 100C溫度下烘干或用電吹風吹干。
c.處理完后，按順序進行裝配，保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心，各級噴嘴間隙要按原要求調整好。
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