氮化硅粉合成爐
發布時間: 2022-10-13 17:45
本氮化硅合成爐,主要適用于硅粉與氮氣在高溫下合成氮化硅粉之用。是目前高純氮化硅制備的首選生產性爐型,目前為國內外大多數氮化硅粉廠家使用。
設備技術參數
項目 | 內容 |
電源電壓 | 380V*3相、50HZ |
額定功率 | 120KW(40KW*3) |
最高溫度 | 1600℃ |
常用溫度 | 0-1550℃ |
爐溫均勻性 | ±5℃ |
工作尺寸 | 500*500*1500mm(W*H*L) |
極限真空度 | 10pa(空爐冷態經凈化) |
控溫方式 | 可編程程序化自動控制 |
控溫方式 | 鎢錸熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
電氣連鎖 | 超溫、超壓、過流、水欠壓(流)連鎖及報警 |
詳情請與銷售人員聯系。